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● 工业CT
平面CT
平面CT专业用于检测和分析板状结构器件内部质量与结构情况 ,适用PCB板,BGA、SMT,集成芯片等器件和加工工艺的质量评定与分析 。重构出扫描区三维断层图像 ,实现对板状器件缺陷的空间定位 ,以及逆向生成电路板CAD设计 。
检测对象
印刷电路板,电子与机械 ,模块 ,机电 ,组件和插头 ,半导体封装与互连,微系统 ,传感器,执行器,MEMS和MOEMS
主要技术参数
● 管电压 :160kV或225kV
● 管类型 :开放式微焦点射线管
● 靶 :透射式
● 靶材 :钨靶
● JIMA分辨率 :最佳可达0.5μm
● 扫描方式:锥扫
● 探测器 :数字平板探测器
检测实例